| 모델번호 | QV Apex302PRO QV Apex302PRO2 QV Apex302PRO3 Hyper QV Apex302PRO | QV Apex404PRO QV Apex404PRO2 QV Apex404PRO3 Hyper QV Apex404PRO | QV Apex606PRO QV Apex606PRO2 QV Apex606PRO3 Hyper QV Apex606PRO |
|
|---|---|---|---|---|
| 측정범위 | X축 | 300mm | 400mm | 600mm |
| Y축 | 200mm | 400mm | 650mm | |
| Z축 | 200mm | 250mm | 250mm | |
| 분해능 | 0.1㎛[0.02㎛] | |||
| 고감도 CCD 카메라 | 흑백(PRO3모델:칼라) | |||
| 정도 | E₁ｘｙ | (1.5+3L/1000)㎛[(0.8+2L/1000)㎛] | ||
| E₁ｚ | (1.5+4L/1000)㎛[(1.5+2L/1000)㎛][PRO2모델:(4.0+5L/1000)㎛] | |||
| E₂ｘｙ | (2+4L/1000)㎛[(1.4+3L/1000)㎛][PRO2모델:(2.5+4L/1000)㎛] | |||
| 조명 (PRL:프로그램 제어 링 조명) | 표면 | LED,RGB(PRO2 및 PRO3 모델 : 할로겐) | ||
| 윤곽 | LED,백색(PRO2 및 PRO3 모델 : 할로겐) | |||
| PRL | LED,RGB(PRO2 및 PRO3 모델 : 할로겐) | |||
| 배율 변경 시스템 | 프로그램 제어 파워 터릿(PRO2모델 : 프로그램 제어 파워 줌렌즈) | |||
| 최대 구동 속도 | X/Y축 | 300mm/s [200mm/s] | 400mm/s [200mm/s] | 400mm/s [200mm/s] |
| Z축 | 300mm/s [200mm/s] | 300mm/s [200mm/s] | 300mm/s [200mm/s] | |
| 스테이지 글래스 크기 | 399x271mm | 493x551mm | 697x758mm | |
| 최대 측정물 높이 | 200mm | 250mm | 250mm | |
| 최대 측정물 중량 | 20kg [15kg] | 40kg [30kg] | 50kg [40kg] | |
| 외관 치수 | 859x951x1609mm | 1027x1407x1778mm | 1309x1985x1794mm | |
| 무게 | 360kg | 579kg | 1450kg | |
| QV Apex | QV HYPER | ||
|---|---|---|---|
| 정도 | (1.5+3L/1000)㎛ | (0.8+2L/1000)㎛ | |
| 측정범위 | X축 | 300mm~600mm | 300mm~600mm |
| Y축 | 200mm~650mm | 200mm~650mm | |
| Z축 | 200mm~250mm | 200mm~250mm | |
| 분해능 | 0.1㎛ | 0.02㎛ | |
| 최대구동속도 | X/Y축 | 300mm/s~400mm/s | 200mm/s |
| Z축 | 300mm/s | 200mm/s | |
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